日期：2026/04/09
来源：系统管理员
硬核突破，量产启航 | 中科山海微新产线正式入驻
4月3日，我院重点孵化企业——中科山海微（杭州）半导体技术有限公司新产线入驻仪式在杭州临平达宸星创科技园举行。这标志着中科山海微技术研发迈入全新代际，核心技术将完成迭代升级，也是我院在培育硬核科技、推动关键领域国产化进程中的一项重要进展。
中科山海微专注于集成电路前道制程的量检测、光刻和先进封装所需的高端光学模组开发与生产，其产品覆盖半导体明场、暗场及无图形量检测、光刻物镜与照明模组、先进封装光学模组等关键环节。
作为目前国内唯一可自主研发并生产覆盖28nm、14nm、10nm明暗场量检测DUV光学模组的企业，公司有效打破了该领域长期以来的外部技术限制，逐步实现半导体量检测核心光学模组在成熟制程和先进制程的国产替代，并已向行业头部客户稳定供货。
中科山海微的成长历程，是我院践行“创新链、资本链、产业链”三链融合孵化模式的案例之一。其成功实现量产，也印证了院内产业生态在支持技术成果转化方面的实用价值。
作为由临平区人民政府与国科大杭州高等研究院共建的产业孵化平台，我院将持续聚焦光电与智能感知领域，深化与各方的协同，优化服务体系，致力于培育更多优质的硬核科技企业，为区域产业高质量发展贡献持续动力。
