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激光干涉仪

激光干涉仪

  • 仪器分类: 微纳级精密检测系统
  • 仪器状态:
  • 所属单位: 杭州光电感知研究院 > 公共技术服务平台 > 微纳级精密检测系统
  • 仪器生产商: 航验
  • 购置日期:
  • 使用模式: 按时预约,委托预约
  • 规格型号: SJ6000
  • 放置房间号: 算力小镇C幢1号厅4楼433
仪器生产商

航验

资产编号

HIASLP-GGJS-SYS5-001

资产负责人

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购置日期

仪器价格

0.00 万元

仪器产地

中国

仪器供应商

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购买经办人

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主要配件

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仪器介绍

高端装备制造:数控机床、三坐标测量机运动轴误差补偿,工业机器人重复定位精度验证与标定

精密仪器开发:光刻机、3D打印设备线性导轨动态性能测试

自动化与检测:半导体晶圆台平面度检测

科研与计量:引力波探测装置微位移校准,大型光学望远镜镜面形位公差测量


主要参数

稳频精度:≤0.06ppm 动态采集频率:≥45kHz 线性测量量程:≥70m 线性测量精度:0.5ppm 线性测量分辨率:1nm 最大速度:≥4m/s 角度测量范围:±10° 角度最大轴向测量量程:≥12m 角度测量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M)″(R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m) 角度测量分辨率:≤0.01″ 平面度测量轴向量程:≥15m 平面度测量范围:±1.5mm 平面度测量精度:±(0.2%R+0.02M2)μm 平面度测量分辨率:0.1μm 直线度测量轴向量程:0.1~4m 直线度测量范围:±3mm 直线度测量精度:±(0.5+0.25%R+0.15M2)μm 直线度测量分辨率:0.01μm 垂直度测量轴向量程:0.1~3m 垂直度测量范围:±3/M mm/m 垂直度测量精度:±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m(R为显示值;M为测量距离,单位:m) 垂直度测量分辨率:0.01μm/m 温度补偿能力:±0.1℃,分辨率0.01℃

工作时间

09:00-12:00;14:00-18:00

最小可预约时间段

0.5 小时

最大可预约时间段

168 小时

日历最小单位

0.5 小时

最近提前预约时间

未授权用户: 0小时; 普通资格用户: 0小时; 资深资格用户: 0小时

最远提前预约时间

未授权: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点

最大有效预约次数

5 次/天

无代价撤销预约时间

1440 分钟

用户资格 工作时间 非工作时间
未授权资格
普通资格
资深资格
  • 待审核

  • 预约有效

  • 预约完成

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  • 预约被占用

  • 成果名称 成果分类 付款账户 提交人 创建时间 操作

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